Mikrobolometer auf der Basis von Polymerkompositen

Mikrobolometer sind Sensoren zur Messung infraroter Strahlung. Bedingt durch ihren kompakten konstruktiven Aufbau und die einfache Signalauswertung werden sie gegenwärtig in breitem Maße in Wärmebildgeräten eingesetzt. Damit ermöglichen sie unter anderem die passive Objekterkennung und die berührungslose, großflächige Temperaturbestimmung. Mikrobolometer besitzen das Potenzial für den Einsatz in Massenprodukten, wenn die Herstellungskosten weiter gesenkt werden könnten. In diesem Band der Buchreihe „Dresdner Beiträge zur Sensorik“ wird untersucht, inwieweit polymerbasierte Materialien für die Herstellung von Mikrobolometer- Arrays geeignet sind. Gegenüber konventionellen Mikrobolometern aus anorganischen Materialien ermöglichen polymere Materialien in der Mikrosystemtechnik deutlich einfachere Herstellungsverfahren. In dieser Arbeit wird die Eignung neu entwickelter Technologiefolgen beschrieben, mit denen sich Mikrobolometer-Arrays reproduzierbar herstellen lassen. Für die strahlungsempfindliche Schicht werden dazu elektrisch leitfähige Polymerkomposite verwendet, die aus einem Matrixpolymer und einem leitenden Füllstoff bestehen. Die elektrischen Mikrobolometer-Eigenschaften werden durch den Füllstoff bestimmt, während sich das Komposit aufgrund der geringen Partikelkonzentration technologisch wie ein Polymer verarbeiten lässt.