Elektromagnetischer Mikroaktor zur Erzeugung einer Flüssiglinse

Diese Dissertation beschreibt die Modellbildung, die Technologieentwicklung mit anschließender dünnfilmtechnischer Fertigung und die Charakterisierung eines elektromagnetischen Mikroaktors zur Erzeugung einer einstellbaren Flüssiglinse. Der Mikroreluktanzaktor besteht aus einer planaren Mikrospule mit einer weichmagnetischen Flussführung. Der von der Spule erzeugte magnetische Fluss zieht einen ringförmigen Rückschluss an, der auf einer transparenten Polyimid-Membran hergestellt ist. Die Bewegung des Rückschlusses verdrängt eine optisch transparente Flüssigkeit in der Kammer zwischen der Spule und der Membran, sodass in der Mitte des Rückschlusses eine Flüssiglinse entsteht. In den Aktor ist ein kapazitiver Sensor zur Abstandsmessung im Luftspalt integriert.