Verfahren zum flüssigkeitsbasierten Vereinzeln kontaminierter Photovoltaikwafer

Inhalt dieser Arbeit ist die Modellierung, Analyse und Bewertung eines Verfahrens, mit welchem Photovoltaikwafer nach dem Sägen mittels Flüssigkeitsstrahlen vereinzelt werden können. Basierend auf einem Versuchsstand wird das Modell des Vereinzelungsmechanismus' untersucht. Durch experimentelle Beobachtung und Auswertung werden die Wirkzusammenhänge des Verfahrens wissenschaftlich und technisch verständlich gemacht.