Formabtrag an mineralischen Gläsern mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung

Die Analyse der Abtragsverfahren zur Formgebung optischer Komponenten aus mineralischem Glas mittels ultrakurz gepulster Laserstrahlung zeigt, dass mit dieser Technologie das gesamte Materialspektrum bearbeitet werden kann. Es wurden Parameterräume definiert, die den stabilen Ablationsprozess hinsichtlich Rauheit, optischen Gangunterschieden und Abtragsraten beschreiben. Zudem wurde ein Modell für den 2,5D-Formabtrag entwickelt und die Entstehung einer Sättigungsrauheit sowie ein linearer Abtrag festgestellt, unterstützt durch gezielte Partikelabfuhr und die Herstellung von Demonstratoren.