Lehrbuch Mikrosystemtechnik

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Das Buch behandelt zunächst die mechanischen und fluidischen Grundelemente, wie Balken, Brücken, Mikrokanäle und Mikroventile. Es beschreibt sensorische, generatorische und aktorische Wandler sowie Materialien in der Mikrosystemtechnik, einschließlich der Herstellung und Charakterisierung von Silizium-Wafern. Weitere Materialien wie Glas, Keramiken, Metalle, Polymere und Lote werden ebenfalls detailliert behandelt. Anschließend werden Herstellungsverfahren für Mikrokomponenten, Strukturöbertragungsprozesse, Plasmaprozesse und Schichtabscheidungsverfahren erläutert. Die Konfektionierung der Mikrokomponenten und die Mess- und Prüftechnik von Mikrosystemen werden ebenfalls thematisiert. Zudem werden Entwurf und Entwicklung von Bauelementen sowie der effektive Materialeinsatz diskutiert. Zu Beginn jedes größeren Abschnitts sind relevante Schlüsselwörter vermerkt, die auch in der Marginalspalte wiederzufinden sind. Am Ende der Abschnitte gibt es den Abschnitt "Merke", in dem die wichtigsten Informationen stichpunktartig zusammengefasst sind. Dadurch dient das Buch als effizientes Nachschlagewerk für Studium und Praxis. Es basiert auf einer Kooperation zwischen der Fachgruppe Mikrostrukturierte mechatronische Systeme der TU München und dem FB Medienpädagogik der Universität Augsburg, die einen systematisierten Lehransatz im Bereich der Mikrosystemtechnik entwickelt haben.