Mikrosystemtechnik

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Die wirtschaftliche Bedeutung der Mikrosystemtechnik hat in den letzten Jahren stark zugenommen. Um die Vorteile dieser Technologie nutzen zu können, benötigt der Ingenieur fundierte Kenntnisse in Disziplinen wie Elektronik, Mechanik, Optik, Herstellungsverfahren und Systemtheorie. Neben grundlegenden Konzepten werden detaillierte Realisierungsbeispiele von Mikrosystemen beschrieben. Am Ende jedes Kapitels finden sich zahlreiche Übungsaufgaben zur Selbstkontrolle und Festigung des Stoffes. Die zweite Auflage enthält wichtige Korrekturen sowie Informationen über neuere Verfahrensentwicklungen und neue Typen von Drehratensensoren und Mikroschaltern im Bereich Aktorik. Das Inhaltsverzeichnis umfasst die Einführung und Begriffsbestimmung, Werkstoffe und technologische Grundlagen, mikromechanische Sensoren, Aktorik in der Mikrosystemtechnik, Optik in der Mikrosystemtechnik und Systemtechniken. Zu den Themen gehören unter anderem Werkstoffe für Mikrosysteme, Si-Drucksensoren, Antriebsprinzipien, integrierte Optik und Kommunikationsstrukturen innerhalb von Mikrosystemen. Zusätzlich wird eine FEM-Simulation mit ANSYS behandelt, einschließlich Sensorbeschreibung und Ergebnissen der Simulation. Ein Verzeichnis von Formelzeichen, Tabellen und Abbildungen rundet das Werk ab.