Mikrosystemtechnik

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Die wirtschaftliche Bedeutung der Mikrosystemtechnik hat in den letzten Jahren stark zugenommen. Um die Vorteile der Mikrosystemtechnik erfolgreich nutzen zu können benötigt der Ingenieur fundierte Kenntnisse verschiedener Disziplinen wie Elektronik, Mechanik, Optik, Herstellungsverfahren und der Systemtheorie. Neben grundlegenden Konzepten der Mikrosystemtechnik werden detailliert Realisierungsbeispiele von Mikrosystemen beschrieben. Zahlreiche Übungsaufgaben am Ende eines jeden Kapitels dienen der Selbstkontrolle und Festigung des behandelten Stoffes. Neben wichtigen Korrekturen informiert die zweite Auflage ergänzend über neuere Verfahrensentwicklungen und neue Typen von Drehratensensoren sowie über Mikroschalter im Bereich Aktorik. Inhaltsverzeichnis 1 Einführung und Begriffsbestimmung.- 1.1 Begriffsdefinition Mikrosystemtechnik.- 1.2 Wirtschaftliche Bedeutung.- 1.3 Aufgaben zur Lernkontrolle.- 2 Werkstoffe und technologische Grundlagen.- 2.1 Werkstoffe für MikroSysteme.- 2.2 Kristallographische Grundbegriffe.- 2.3 Werkstoffdaten von Silizium.- 2.4 Übersicht über Herstellungsverfahren.- 2.5 Aufgaben zur Lernkontrolle.- 3 Mikromechanische Sensoren.- 3.1 Si-Drucksensoren.- 3.2 Si-Beschleunigungssensoren.- 3.3 Abgeleitete mikromechanische Sensoren.- 4 Aktorik in der Mikrosystemtechnik.- 4.1 Antriebsprinzipien.- 4.2 Realisierungsbeispiele für Mikroaktoren.- 4.3 Fragen zur Lernkontrolle.- 5 Optik in der Mikrosystemtechnik.- 5.1 Integrierte Optik.- 5.2 Diffraktive Optik.- 5.3 Aufgaben zur Lernkontrolle.- 6 Systemtechniken.- 6.1 Integrationstechniken auf Chipebene.- 6.2 Verbindungstechnik auf Wafer- und Chipebene.- 6.3 Gehäusetechnik.- 6.4 Kommunikationsstrukturen innerhalb und zwischen Mikrosystemen.- 6.5 Mikrosystementwurf.- 6.6 Aufgaben zur Lernkontrolle.- A FEM-Simulation (ANSYS) mit gekoppelten Feldern.- A.1 Sensorbeschreibung.- A.2 Eingabedatei für ANSYS.- A.3 Ergebnisse der Simulation.- B Formelzeichen.- Tabellenverzeichnis.- Abbildungsverzeichnis.- Stichwortverzeichnis.