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Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dünnschichtsystemen

Autoři

Dieter Lipinsky

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Inhaltsverzeichnis1 Einleitung.2 Theoretische Grundlagen.3 Apparaturbeschreibung.4 Probensysteme und Meßablauf.5 Messungen an Oxiden im Zerstäubungsgleichgewicht.6 Tiefenprofilanalyse oxidischer Schichtsysteme.7 Zusammenfassung.Abbildungsverzeichnis.Tabellenverzeichnis.

Parametry

ISBN: 9783824420667
Nakladatelství: DUV, Dt. Univ.-Verl.

Kategorie

Skripta a vysokoškolské učebnice
DUV : Naturwissenschaft

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Varianta knihy

1995

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