Einführung in die Sekundärionenmassenspektrometrie "SIMS"

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Die Sekundärionenmassenspektrometrie (SIMS) eignet sich für die Untersuchung von Tiefenverteilungen und zur Spurensuche der Elemente sowie zur Oberflächenanalyse. Ausgewählte Beispiele zeigen die Anwendungsmöglichkeiten der SIMS für die traditionelle Festkörperanalyse in der Halbleiterindustrie, aber auch bei der Analyse von Materialien in der organischen Chemie, der Medizin, der Biologie, der Geologie und der Umweltforschung.