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Siliziumnitrid aus Hochfrequenz-Magnetron-Kathodenzerstäubung (Sputtern) für die Niedertemperaturpassivierung von Siliziumoberflächen

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Siliziumnitrid aus Hochfrequenz-Magnetron-Kathodenzerstäubung (Sputtern) für die Niedertemperaturpassivierung von Siliziumoberflächen, Michael Vetter

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1999
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