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Entwicklung einer Schichtdickenmeßmethode zur Untersuchung ultradünner Metallfilme auf massiven Substraten in der Halbleitertechnologie unter Verwendung eines toroidalen elektrostatischen Elektronen-Spektrometers (TELSTAS)
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Entwicklung einer Schichtdickenmeßmethode zur Untersuchung ultradünner Metallfilme auf massiven Substraten in der Halbleitertechnologie unter Verwendung eines toroidalen elektrostatischen Elektronen-Spektrometers (TELSTAS), Frank Schlichting
- Jazyk
- Rok vydání
- 2000
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- Titul
- Entwicklung einer Schichtdickenmeßmethode zur Untersuchung ultradünner Metallfilme auf massiven Substraten in der Halbleitertechnologie unter Verwendung eines toroidalen elektrostatischen Elektronen-Spektrometers (TELSTAS)
- Jazyk
- německy
- Autoři
- Frank Schlichting
- Vydavatel
- Köster
- Rok vydání
- 2000
- ISBN10
- 3895743720
- ISBN13
- 9783895743726
- Kategorie
- Skripta a vysokoškolské učebnice