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Aufbau und Eigenschaften einer Zweikreis-Plasmastrahlquelle für die direkte Plasmastrahldeposition von Hartstoffschichten und deren Anwendung am Beispiel von kubischem Bornitrid

Autoři

Michael Haag

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Kategorie

Skripta a vysokoškolské učebnice

Série: Berichte aus der Physik

Nákup knihy

Aufbau und Eigenschaften einer Zweikreis-Plasmastrahlquelle für die direkte Plasmastrahldeposition von Hartstoffschichten und deren Anwendung am Beispiel von kubischem Bornitrid, Michael Haag

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Rok vydání: 2003

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