Knihu momentálně nemáme skladem
Více o knize
The 14 papers in this volume cover topics such as the background to this approach and up-dated status; design and concepts of relevant cluster tools equipment; specific process modules such as deposition chambers (CVD, RTCVD, UVCVD) annealing or etching reactors; and standardization efforts.
Nákup knihy
Single chamber processing, Yves I. Nissim
- Jazyk
- Rok vydání
- 1993
Jakmile se objeví, pošleme e-mail.
Doručení
Platební metody
Nikdo zatím neohodnotil.