Herstellung und Untersuchung von mikromechanischen Schaltern für Anwendungen in der Hochfrequenz- und Impulstechnik

Diese Arbeit beschreibt den Entwurf, die Herstellung und die Vermessung elektrostatisch angetriebener Relais, die in eine planare Hochfrequenzleitung eingebaut sind. Sie haben die Form einer biegsamen Zunge mit einem Rhodiumkontakt an der Spitze und können mit einer maximalen Schaltfrequenz von etwa 15kHz betrieben werden. Zur Herstellung werden Verfahren ähnlich der Produktion integrierter Schaltungen verwendet wie Aufdampfverfahren, Galvaniktechniken und anisotrope Ätzverfahren in Silizium. Neben der Berechnung der elektrostatischen Bewegungsanregung wird das Gleichstrom- Kontaktverhalten anhand der kontaktphysikalischen Theorien überprüft. Es zeigt sich, daß neben der aufgebrachten Kontaktkraft eine elektrostatische Zusatzkraft wirksam ist, die durch die Spannung zwischen den Kontakten hervorgerufen wird. Das Hochfrequenzverhalten der Schalter wird breitbandig vermessen und modelliert.