Laserverfahren zur strukturierenden Metallisierung

KlappentextDie vorliegende Arbeit befaßt sich mit grundlegenden Untersuchungen zum Laserverfahren der strukturierenden Metallisierung, das im wesentlichen aus zwei Arbeitsschritten besteht: Erzeugung der die gewünschte Struktur bildenden Keime und deren anschließende stromlose Metallisierung. Als Strahlquelle werden ein Nd: YAG- und ein Excimerlaser eingesetzt. Die Einflüsse der Versuchsparameter auf die niedergeschlagenen Spuren und deren Auswirkungen auf die metallisierten Strukturen werden untersucht. Der Einfluß der Wellenlänge und des zeitlichen Pulsverlaufes auf die jeweiligen Prozeßschritte wird dargestellt. Die Untergrenze der realisierbaren Strukturgeometrien wird ermittelt und die elektrischen Eigenschaften der fertigen Leiterbahnen gemessen. Das vorgestellte Laserverfahren stellt eine Technik zur Herstellung von Feinstleiterstrukturen dar, das besonders in der Prototypen- und Kleinserienfertigung erheblich flexibler eingesetzt werden kann. Aus dem Inhalt Lasereinsatz zur strukturierenden Metallisierung - Abtragen und Niederschlagen dünner Filme - stromlose Metallisierung auf niedergeschlagener Spur - Visualisierung der - Abtragvorgänge - Herstellung der Feinstleiterstrukturen durch Überlappung der einzelnen Laserpulse auf Al2O3-Substraten