Grundlagen der Mikrosystemtechnik

Bei der Entwicklung komplexer Mikrosysteme kommt dem Entwurfsprozess, der am besten beeinflussbar ist, zentrale Bedeutung zu. Die Auswahl an verfügbaren Werkstoffen und Technologien in der Mikrosystemtechnik ist beschränkt. Um so ausführlicher behandeln die Autoren den darauf aufbauenden Entwurf von Systemkomponenten und kompletten Mikrosystemen. Vier Anwendungsbeispiele mit wirtschaftlichem Erfolg zeigen dem Leser, wie er effizient komplexe Mikrosysteme entwerfen kann. Für Studenten der Elektro- und Mikrosystemtechnik, Entwicklungsingenieure, Wissenschaftler.