Dünnschichten für Oberflächenwellen-Bauelemente

Akustische Oberflächenwellen (engl. Surface Acoustic Waves, SAW), als Phänomen erstmalig durch Lord RAYLEIGH im Jahre 1885 beschrieben, haben seit dem Ende der sechziger Jahre eine rasant zunehmende Anwendung in miniaturisierten Frequenzfilter-Bauelementen gefunden. Ihr Einsatzspektrum reicht von der Zwischenfrequenz-Filtertechnik in Fernsehgeräten über die heutigen Mobil- und Schnurlostelefone bis hin zu Lösungen in der draht-, funk- und fasergestützten Datenübertragung, der Sensorik und der Identifizierungstechnik. Die Erschließung weiterer Nutzungsvarianten und Anwendungsgebiete ist weltweit Gegenstand der Forschung. Der vorliegende Band 26 der Reihe Dresdner Beiträge zur Sensorik faßt Ergebnisse und Erkenntnisse zusammen, die bei Untersuchungen zur Entwicklung und zum Einsatz von Dünnschichten unterschiedlichen Typs in Oberflächenwellen-Bauelementen entstanden sind. Behandelt werden Metallschichten für die Wandlerelektroden, piezoelektrische Schichten zur SAWAnregung, Deck- und Passivierungsschichten sowie optische Wellenleiterschichten, wobei die Herstellung, Charakterisierung und Optimierung dieser Schichten dargestellt werden. Die Grundlagen der SAW-Bauelemente, bei denen speziell auch auf die Besonderheiten der Anregung und Ausbreitung der Oberflächenwellen in Substrat-Schicht-Systemen eingegangen wird, sind dabei ebenso aufgezeigt wie die meßtechnische Charakterisierung der Strukturen. Ein besonderes Augenmerk liegt auf den Schichteigenschaften, die für die praktische Anwendung in SAW-Bauelementen bedeutsam sind. Anhand von zwei Anwendungen wird demonstriert, wie durch konstruktive und materialkundliche Optimierung der eingesetzten Substrat-Dünnschicht- Systeme die angestrebten Funktionen als akustooptische Modulatoren im Reflexions- bzw. Transmissionsbetrieb erreicht werden.