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Dieses Buch bietet eine umfassende Darstellung der Grundlagen und Entwurfsmethoden für Mikrosysteme. Es beleuchtet die Auswirkungen der Miniaturisierung auf den Entwurf und die Wechselwirkungen zwischen elektrischen, mechanischen und anderen Funktionselementen. Themen wie Systemsimulation und Systemintegration werden ebenfalls behandelt.
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Mikrosystementwurf, Manfred Kasper
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- 1999
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