Knihu momentálně nemáme skladem
Parametry
Více o knize
Das Sublimationsschneiden mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung ist aufgrund der sehr kurzen Wechselwirkungszeiten zwischen Strahl und Material eine vielversprechende Vereinzelungstechnologie für Halbleiterbauelemente. In dieser Arbeit wird, durch Erhöhung der Substrattemperatur in der Schnittfuge, die Absorption der einfallenden Laserstrahlung so lokalisiert, dass ein möglichst hohes Aspektverhältnis resultiert. Weiterhin wird untersucht, welche Prozessparameter das Aspektverhältnis beeinflussen.
Nákup knihy
Sublimationsschneiden von Silizium mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung, Christian Fornaroli
- Jazyk
- Rok vydání
- 2016
Jakmile ji vyčmucháme, pošleme vám e-mail.
Doručení
Platební metody
Navrhnout úpravu
- Titul
- Sublimationsschneiden von Silizium mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung
- Jazyk
- německy
- Autoři
- Christian Fornaroli
- Vydavatel
- Apprimus Verlag
- Vydavatel
- 2016
- ISBN10
- 3863594533
- ISBN13
- 9783863594534
- Kategorie
- Skripta a vysokoškolské učebnice
- Anotace
- Das Sublimationsschneiden mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung ist aufgrund der sehr kurzen Wechselwirkungszeiten zwischen Strahl und Material eine vielversprechende Vereinzelungstechnologie für Halbleiterbauelemente. In dieser Arbeit wird, durch Erhöhung der Substrattemperatur in der Schnittfuge, die Absorption der einfallenden Laserstrahlung so lokalisiert, dass ein möglichst hohes Aspektverhältnis resultiert. Weiterhin wird untersucht, welche Prozessparameter das Aspektverhältnis beeinflussen.