Verfahren zur Konzeption automatischer reinraumtauglicher Fertigungsanlagen und -zellen

Inhaltsverzeichnis1 Einleitung.1.1 Problemstellung.1.2 Zielsetzung und Vorgehensweise.2 Stand der Technik.2.1 Definitionen der Reinraumtechnik.2.2 Ausgangssituation.2.3 Analyse von Verfahren und Methoden zur Entwicklung reinraumtauglicher Fertigungsanlagen und -zellen.3 Entwicklungsschwerpunkte.3.1 Ableitung von Entwicklungsschwerpunkten.3.2 Anforderungen an das Verfahren.4 Konzeption der Methoden und Hilfsmittel des Verfahrens.4.1 Konzeption der Methoden.4.2 Konzeption der Hilfsmittel.4.3 Erarbeitung eines Prüfverfahrens zur Untersuchung des Partikelemissionsverhaltens ungeschmierter gleitreibungsbeanspruchter Materialpaarungen.5 Ableitung von Methoden zur Anlagenkonzeption.5.1 Methode zur funktionellen Analyse.5.2 Methode zur konzeptionellen Anlagengestaltung.6 Erarbeitung von Hilfsmitteln zur Anlagenkonzeption.6.1 Bildung und Optimierung von Funktionsstrukturen.6.2 Partikelemissionsverhalten von Materialpaarungen.6.3 Materialflußautomatisierung sowie materialflußbezogene Strukturierung und Integration von Fertigungsanlagen und -zellen.6.4 Nicht-experimentelle Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Fertigungsanlagen.7 Anwendung des Verfahrens am Beispiel der Konzeption einer automatischen Fertigungszelle zur Waferkontaminationsmessung.7.1 Aufstellen des Anforderungskataloges.7.2 Durchführung der funktionellen Analyse.7.3 Durchführung der konzeptionellen Gestaltung.7.4 Diskussion der Anwendungsmöglichkeiten und Ergebnisse des entwickelten Verfahrens.8 Zusammenfassung und Ausblick.9 Literaturverzeichnis.