Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf

Inhaltsverzeichnis1 Einleitung.2 Stand der Technik.3 Physikalische und physikalisch-chemische Grundlagen der Plasmabeschichtung.4 Versuchsaufbau zur Schichtherstellung.5 Herstellung und Eigenschaften der Schichten.6 Anwendungen.7 Zusammenfassung.8 Literatur.