Entwicklung und Optimierung von In2O3-basierten Dünnschichten für die Detektion von NO2 und O3

Stickstoff und Ozon sind umwelt- und gesundheitsrelevante Gase, deren Erfassung in häuslicher und industrieller Umgebung von grosser Wichtigkeit ist. Die vorliegende Arbeit widmet sich der Entwicklung und Optimierung von In2O3-basierenden Dünnschichten für die Detektion dieser Gase im Bereich der MAK-Werte und darunter.