Metallische Mikrosiebe

In der vorliegenden Arbeit wurden die Herstellung von metallischen Mikrosieben und die Charakterisierung der Strömung durch Mikrosiebe untersucht. Neue Herstellverfahren aus dem Bereich der Mikrogalvanik und Laserablation wurden erarbeitet, um Mikrosiebe mit einer definierten Porengeometrie zu erzeugen. Zudem wurde ein neues Mikrosiebdurchflussmodell für den Fall langsamer, partikelfreier Strömungen entwickelt, das die Einflüsse der Mikrosiebgeometrie und mikroskaliger Phänomene berücksichtigt. Um die Eignung der Mikrosiebfiltration für industriell relevante Anwendungsgebiete zu überprüfen, wurden Prozessströme aus industriellen Applikationen mikrosieb-filtriert. Verschiedene Verfahren zur Vermeidung der Deckschichtbildung wurden erfolgreich eingesetzt.