Modellierung des Abtragsverhaltens in der Padpolitur

Präzise Optiken werden auch heute noch häufig mit der klassischen Prozesskette gefertigt. Zur Erzeugung der Oberflächengeometrie kommt dabei ein Schleifprozess zum Einsatz. Der darauffolgende Polierprozess dient der Glättung der Oberfläche und beseitigt die vom Vorprozess beschädigte Materialschicht. Im Rahmen dieser Dissertation wird ein Modell vorgestellt, mit dem eine Vorhersage über den Materialabtrag bei der Padpolitur von Oberflächen möglich ist. Dieses ermöglicht die Vorhersage des Materialabtrags auf Basis physikalischer Parameter und die für beliebige Oberflächengeometrien ausgelegt Berechnung liefert ortsabhängige Abtragsfunktionen. Das Modell beinhaltet die Geometrie des Werkstücks, d. h. die dadurch verursachte Änderung der Abtragsfunktion ist integraler Teil der Simulation. Zu den berücksichtigten variablen Parametern zählen der lokale Verlauf der Werkstückoberfläche, die Geometrie des Werkzeugs, die Drehzahlen von Werkzeug und Werkstück sowie die Kraft auf das Werkzeug.