Entwurf und Untersuchung von hochauflösenden 3D-Bildsensoren in CMOS-Technologie

Seit der Erfindung des PMD (Photomischdetektors) in der Mitte derNeunziger Jahre des 20. Jahrhunderts hat eine rasante Entwicklungauf dem Gebiet der 3D-Entfernungsmessung mit PMD stattgefunden. Erste, in großen Stückzahlen gefertigte Produkte sind für den Automatisierungsmarkt vorhanden und erschließen immer mehr Anwendungs-gebiete. Ein entscheidender Vorteil der PMD-Technologie ist, dass die PMD-Elemente mit nahezu beliebiger Pixelanzahl im Matrixverbund ange-ordnet werden können. Dadurch ist es möglich, hochauflösende 3D-Entfernungssensoren zu realisieren. Diese Arbeit befasst sich mit diesen hochauflösenden 3D-Bildsenso-ren auf PMD-Basis. Im Speziellen wird ein PMD-Sensor mit 160x120PMD-Pixeln beschrieben, wobei die gewonnen Erkenntnisse auch aufandere Formate übertragbar sind. Jochen Frey, geboren 1975 in Wetzlar, studiertevon 1996 bis 2001 Elektrotechnik, Fachrichtung Mikroelektronik, an der Universität Siegen. Inden folgenden Jahren arbeitete er auf demGebiet der Photomischdetektoren am Institut fürNachrichtenverarbeitung der Universität Siegen, sowie in der PMDTechnologies GmbH, Siegen. Während dieser Zeit entstand die vorliegendeArbeit. Aktuell arbeitet Herr Frey an neuen Generationen von Photomischdetektoren.