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Entwicklung und Optimierung einer Technologie zur Herstellung ultradünner Chips mit Hilfe von Siliziumwafern mit vergrabenen Kavitäten

Autoři

Martin Zimmermann

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Kategorie

Skripta a vysokoškolské učebnice

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Entwicklung und Optimierung einer Technologie zur Herstellung ultradünner Chips mit Hilfe von Siliziumwafern mit vergrabenen Kavitäten, Martin Zimmermann

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Rok vydání: 2010

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