Dynamische plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen Silizium-Dünnschichtsolarzellen mittels linearer Höchstfrequenz-Plasmaquellen

Diese Arbeit beschäftigt sich mit der dynamischen Herstellung von amorphen (a-Si: H) und mikrokristallinen (µc-Si: H) Silizium-Dünnschichtsolarzellen mittels linearer Höchstfrequenz-Plasmaquellen. Die Eignung des neuartigen Herstellungsverfahrens zur Fertigung von hocheffizienten a-Si: H bzw. µc-Si: H Solarzellen wurde demonstriert. Im dynamischen Fertigungsmodus mit Substratbewegung sind vielversprechende initiale Wirkungsgrade von ca. 10,3 % für a-Si: H- und 6,5 % für µc-Si: H-Solarzellen erreicht worden. Die großflächige Uniformität der Abscheidung konnte nachgewiesen werden. Der Einfluss der Dynamik bei der Abscheidung der Siliziumschichten wurde sowohl experimentell als auch theoretisch für amorphes Silizium untersucht. Es konnte festgestellt werden, dass die Substratbewegung die Solarzelleneigenschaften bis zu Durchlaufgeschwindigkeiten von 500 mm/min nur geringfügig beeinflusst. Ein theoretisches Modell trägt zum besseren Verständnis der Mikroprozesse bei der dynamischen Solarzellenabscheidung bei.