Mikro- und Nanostrukturierung mit kurz und ultrakurz gepulster Laserstrahlung

Im Rahmen dieser Dissertation wird die Erzeugung von Mikro- und Nanostrukturen mittels kurzer und ultrakurzer Laserpulse vor dem Hintergrund der erreichbaren Abtragseffizienz, Strukturierungsqualität und Strukturgröße grundlegend untersucht. Es werden numerische Simulationsmodelle vorgestellt, um die Abtragsprozesse in unterschiedlichen Pulsdauer- und Strukturgrößenbereichen zu charakterisieren. Short summary In this thesis the generation of micro- and nanostructures with short and ultrashort laser pulses is investigated with respect to achievable ablation efficiency, structure quality and feature size. Numerical simulation models are presented in order to characterize ablation processes at different pulse durations and structure sizes.