Polysilizium-Heaterstrukturen für den Einsatz in hochbeschleunigten Zuverlässigkeitstests auf Waferebene

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Die Bachelorarbeit beschäftigt sich mit der Entwicklung hochbeschleunigter Zuverlässigkeitstests auf Waferebene unter Einsatz von In-Situ-Heizelementen aus polykristallinem Silizium. Nach einer Einführung in die Zuverlässigkeitstheorie werden verschiedene Zuverlässigkeitstests analysiert, die derzeit zeitaufwändig sind. Die Arbeit schlägt einen innovativen Ansatz vor, bei dem ein Polysilizium-Widerstand direkt in die Struktur integriert wird, um die Wärmequelle zu optimieren. Zudem werden thermische Simulationen zur Wärmeausbreitung durchgeführt und Möglichkeiten zur Temperaturmessung an den Teststrukturen erörtert.