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Polysilizium-Heaterstrukturen für den Einsatz in hochbeschleunigten Zuverlässigkeitstests auf Waferebene
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Die Bachelorarbeit beschäftigt sich mit der Entwicklung hochbeschleunigter Zuverlässigkeitstests auf Waferebene unter Einsatz von In-Situ-Heizelementen aus polykristallinem Silizium. Nach einer Einführung in die Zuverlässigkeitstheorie werden verschiedene Zuverlässigkeitstests analysiert, die derzeit zeitaufwändig sind. Die Arbeit schlägt einen innovativen Ansatz vor, bei dem ein Polysilizium-Widerstand direkt in die Struktur integriert wird, um die Wärmequelle zu optimieren. Zudem werden thermische Simulationen zur Wärmeausbreitung durchgeführt und Möglichkeiten zur Temperaturmessung an den Teststrukturen erörtert.
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Polysilizium-Heaterstrukturen für den Einsatz in hochbeschleunigten Zuverlässigkeitstests auf Waferebene, David Weinberger
- Jazyk
- Rok vydání
- 2012
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- (měkká)
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- Titul
- Polysilizium-Heaterstrukturen für den Einsatz in hochbeschleunigten Zuverlässigkeitstests auf Waferebene
- Jazyk
- německy
- Autoři
- David Weinberger
- Vydavatel
- GRIN Verlag
- Rok vydání
- 2012
- Vazba
- měkká
- Počet stran
- 76
- ISBN13
- 9783656276708
- Kategorie
- Elektrotechnika
- Anotace
- Die Bachelorarbeit beschäftigt sich mit der Entwicklung hochbeschleunigter Zuverlässigkeitstests auf Waferebene unter Einsatz von In-Situ-Heizelementen aus polykristallinem Silizium. Nach einer Einführung in die Zuverlässigkeitstheorie werden verschiedene Zuverlässigkeitstests analysiert, die derzeit zeitaufwändig sind. Die Arbeit schlägt einen innovativen Ansatz vor, bei dem ein Polysilizium-Widerstand direkt in die Struktur integriert wird, um die Wärmequelle zu optimieren. Zudem werden thermische Simulationen zur Wärmeausbreitung durchgeführt und Möglichkeiten zur Temperaturmessung an den Teststrukturen erörtert.