Справочник по электрохимическим и электрофизическим методам обработкиВиктор Алексеевич ВолосатовVyprodánoPohlídat
Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхемО. К. МокеевVyprodánoPohlídat
